“这这一套光学系统可是光刻机的核心部分,他们有这方面的技术吗?”
胡杨看完报告,内心不禁激动不已。
高端光刻机,简直成为了胡杨心里的一道魔咒,做梦都想着能及早实现设备国产化。
这种高端的设备,一台机器由三万多个零部件构成,但核心的核心,绝对是曝光光学系统。
这套系统涵盖了光源、物镜、高精度对准器件等等,可以这样说,有了这套系统,国产高端光刻设备的研发工作,就会向前迈进一大步。
“博隆光学的创始人,戴远军博士曾经在尼康和欧泰克做过技术负责人。目前,他和他的团队,手上掌握着00多项专利技术。
公司预计三年内将拥有0n节点、0n节点、n及以下节点极大规模i制造投影光刻机曝光光学系统产品的研发、设计与批量生产供货能力。
与此同时,已研发成功的超精密光学加工、检测、装调装备,以及正在研发的高性能显微物镜、紫外成像探测系统等产品,也将陆续投入市场。
此类高市场价值的衍生产品将与光刻机曝光光学系统产品一道,共同构建起博隆光学市场成功的产品基础。”
王清泉跟踪这个项目已经有一段时间了,他很看好博隆光学的发展前景,因此,一开口就是滔滔不绝。
嗯听起来很美!
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